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Caractérisation à l'échelle nanométrique d'interfaces métal/SiOxNy
Etude de l'environnement physico-chimique des atomes localisés à l'interface entre un film mince métallique et un substrat de Si, SiO2, ou Si3N4 «
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ISBN
9786131502002
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Reviews of Caractérisation à l'échelle nanométrique d'interfaces métal/SiOxNy by Ignace Jarrige
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